Go bunúsach, is córas lán-chomhtháite agus sofaisticiúil í foirnéis feadáin um Thaisceadh Gaile Ceimiceach (CVD), ach feidhmíonn foirnéis feadáin chaighdeánaigh mar uirlis chuspóireach níos ginearálta le haghaidh próiseála teirmeach.
Ionchorpraítear in ailtireacht foirnéise CVD fochórais speisialaithe atá tiomnaithe do sheachadadh gáis, rialú folúis agus ceimic imoibrithe-comhpháirteanna atá as láthair i bhfoirnéisí níos simplí atá deartha le haghaidh ábhar téimh laistigh d'atmaisféar rialaithe amháin.
Is iad na ceanglais shonracha a bhaineann leis an bpróiseas um Dhíoladh Ceimiceach Gaile (CVD) a ordaíonn a dhearadh struchtúrach casta go díreach. Feidhmíonn gach comhpháirt feidhm ar leith a shíneann i bhfad níos faide ná téamh amháin.
Seomra Imoibrithe agus Feadán Foirnéise
Úsáideann córais CVD feadáin foirnéise ard-íonachta (a dhéantar de ghnáth as Grianchloch) lena chinntiú nach gcuirfidh aon éillithe isteach ar an bpróiseas sil-leagan ceimiceach.
Séalaítear an dá cheann de na feadáin seo trí úsáid a bhaint as feirí cruach dhosmálta ardfholús. Cruthaíonn sé seo gás-timpeallacht docht{-riachtanas ríthábhachtach chun gás réamhtheachtaithe a rialú agus seachtháirgí a aslonnú faoi choinníollacha folúis.
Go hiondúil úsáidtear foirnéisí feadán caighdeánach, i gcodarsnacht leis sin, feadáin ceirmeacha alúmana nó mullite. Tá a gcuid meicníochtaí séalaithe deartha chun gáis támha a choinneáil, seachas chun timpeallacht ardfholús a chothabháil.
Atmaisféar agus Córais Rialaithe Brú
Is é seo an t-idirdhealú struchtúrach is suntasaí. Afoirnéise feadán CVDina bhfuil córas rialaithe foinse gáis-trealmhaithe go hiondúil le il-Rialaitheoirí Aifreann Sreafa (MFCanna)-chun meascadh agus instealladh beacht gás réamhtheachtaithe imoibríoch a éascú.
Ionchorpraíonn sé freisin córas rialaithe bhfolús comhtháite, ina bhfuil caidéil agus tomhasairí brú, atá deartha chun an timpeallacht ar leith ísealbhrú a chothabháil a theastaíonn chun an imoibriú sil-leagain a dhéanamh.
I gcomparáid leis sin, tá calafoirt ionraoin agus asraonta gáis réasúnta simplí i bhfoirnéisí feadán caighdeánach. Cé gur gá iad a ghlanadh le gáis támha-amhail nítrigin nó argón-chun ocsaídiú a chosc, níl an cumas acu rialú beacht a dhéanamh ar chomhdhéanamh agus brú gáis.
Córas Rialaithe Teochta
Fostaíonn foirnéisí CVD rialtóirí in-ríomhchláraithe il-deighleogacha in-ríomhchláraithe.
Tá na rialtóirí seo in ann próifílí teochta casta a fheidhmiú-lena n-áirítear rátaí rampa beachta, amanna cónaithe agus rátaí fuaraithe-atá ríthábhachtach chun fás agus airíonna na scannán tanaí taiscthe a rialú.
Tá dearadh trí chrios ag go leor foirnéisí den sórt sin freisin, ina bhfuil an chuid lárnach den fheadán agus a dhá cheann á rialú go neamhspleách ag rialtóirí ar leith.
Bunaítear leis an gcumraíocht seo crios níos leithne d’aonfhoirmeacht teochta eisceachtúil-réamhriachtanas ríthábhachtach chun sil-leagan comhsheasmhach a bhaint amach thar limistéir mhóra dromchla, amhail sliseog sileacain.
Cé go bhfuil foirnéisí ilchriosanna ann d'fheidhmchláir nach-CVD, is gnách go n-úsáideann foirnéisí feadáin bhunúsacha crios téimh aonair agus rialaitheoirí níos simplí, atá deartha chun teocht sprice amháin a choinneáil.
Corp Foirnéise agus Fuarú
Is gnách go mbíonn struchtúr blaosc foirnéise dúbailte le ballaí feistithe le gaothairí fuaraithe inmheánacha i bhfoirnéisí um Cheistiúchán Gaile Ceimiceach (CVD). Cumasaíonn an dearadh seo fuarú tapa nuair a bhíonn an próiseas sil-leagan críochnaithe.
Is riachtanas próisis é an t-athrú tapa teochta sin; cuidíonn sé le "reo" struchtúr an scannáin thanaí thaisce, rud a chosc aistrithe céime nach dteastaíonn nó fás gráin a d'fhéadfadh tarlú ar shlí eile le linn próiseas fuaraithe mall.
I gcodarsnacht leis sin, tugann dearaí caighdeánacha foirnéise tús áite do chobhsaíocht theirmeach agus de ghnáth úsáidtear modh fuaraithe éighníomhach mall.